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RTP HR系列快速加热退火炉

文章作者:admin发布时间:2019-07-04 16:21:38浏览次数: 377

RTP HR系列快速加热退火炉

RTP HR系列快速加热退火炉1200℃

  快速热处理退火炉简称RTP( Rapid Therma l Processing furnace),在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品,拥有独立的发明专利。该设备不但拥有极快的升温速率500℃/S且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的快速降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,在绿色节能环保的基础上实现了试样的极速升降温!

  腔体采用了进气结构,内管进气,外管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。

应用领域

  快速热退火(RTA);

  离子注入后退火石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长快速热氧化(RT0);

  热氮化(RTN) >硅化( Silicidation);

  扩散( Diffusion)

  离子注入后退火( (Implant Annealing);

  电极合金化( Contact Alloying)

  晶向化和坚化( Crysta1 lization and Densification)

主要特点

  一极速升温500℃/S,极速降温100℃/S;

  双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

  直接测量样品表面温度,测温更准;

  炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;

  丰富的扩展接口,能够满足各类试验的需求;

技术参数

型号 温度 升温速率度/s 管径(内
mm)
处理晶片尺寸in 加热区长度(mm) 恒温区±1度长度(mm) 外形尺寸(mm) 功率 重量Kg
(约)
QC-HR1200-110IT-170 1200度 500度/s 103 4" 200 120 AC380V 40
800 540 750 15KW